منقي غاز لإزالة الرطوبة ويُستخدم في تصنيع أشباه الموصلات
مناسب لأشباه الموصلات الإلكترونية، والدوائر المتكاملة واسعة النطاق، وMAMS، والسيليكون أحادي البلورة والسيليكون متعدد البلورات والسيليكون المصفوف، وLED، وTFT، ونتريد الغاليوم، وكربيد السيليكون، والبحث العلمي والتطوير، والتحليل التجريبي، وما إلى ذلك.
صفات
مناسب للنيتروجين والهيدروجين والأكسجين والأرجون والهيليوم والأمونيا. نسبة الغاز الخام لا تقل عن 99.999%. ● إزالة عميقة للشوائب O2 وH2O وCO وCO2 وH2 وN2 وCH2 وNMHC إلى 1ppB / 10ppB. ● تجديد الامتزاز بالتناوب لبرج مزدوج، تحفيز برج واحد، امتزاز المُحصل الطرفي، التشغيل المستمر التلقائي. ● تجهيزات الأنابيب المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ المصقول من الفئة EP 316L. ● مع فلتر 0.003 م، يمكن أن يصل معدل الإزالة إلى 99.999999% /99.99999%. ●يمكن توصيل وحدة التحكم المنطقية القابلة للبرمجة من سيمنز بنظام دي سي إس. ● وظيفة إنذار الأمان مثالية. ●خدمة السحابة عن بعد متاحة. ● الإنتاج والتجميع في بيئة نظيفة للغاية. ● سعة الغاز 10-20000 نانومتر مكعب / ساعة. |  |
