جهاز تنقية الغاز عالي النقاء/نظام تنقية/مولد
مجالات التطبيق: أشباه الموصلات الإلكترونية، الدوائر المتكاملة واسعة النطاق، مامز، السيليكون أحادي البلورة والسيليكون متعدد البلورات وطبقة السيليكون، قاد، شاشة TFT، نتريد الغاليوم، كربيد السيليكون، البحث والتطوير العلمي، التحليل التجريبي، إلخ.
جهاز تنقية الغاز عالي النقاء/نظام تنقية/مولد
صفات
● برجين يتبادلان عملية الامتصاص والتجديد، التشغيل المستمر التلقائي. |  |
معلمات الجدول
| نماذج السلسلة | للغاز | مؤشر الغاز الخام | مؤشر غاز المنتج | |||||||||||
| ن2 | ح2 | ال2 | مع | هو | ال2 | ح2ال | أول أكسيد الكربون2 | أول أكسيد الكربون | CH4 | ح2 | ن2 | الحبيبات | ||
| 9VV | ● | ● | ● | ● | ● | 5N | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | — | ≤0.1 جزء في المليار | — | 0.003 مترم |
| 9OVV | ● | — | ● | ● | ● | 5N | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | — | 0.003 مترم |
| 9VVX | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | 0.003 مترم |
| — | ● | — | — | — | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | — | ≤0.1 جزء في المليار | 0.003 مترم | ||
| 9x | — | — | — | ● | ● | 5N | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | 0.003 مترم |
| — | ● | — | — | — | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | ≤0.1 جزء في المليار | — | ≤0.1 جزء في المليار | 0.003 مترم | ||
| ملحوظة: مواصفات التدفق المشتركة:1-20000 نيوتن متر3/ح؛الضغط المستخدم بشكل شائع:1-20 ميجا باسكال | ||||||||||||||
